气相质谱仪

气相质谱仪主要应用于半导体制造工艺质量分析中，实时监测有机和无机痕量化合物，包括二氧化硫、乙酸、苯酚、氨、乙二醇、丙酮等物质，通过V&F Server软件控制整个仪器，相关程序在分析仪上进行实时有效的测量并反馈数据。